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力拓半导体申请金属氧化物半导体控制雷火电竞二极管与其制造方法专利实现对外延层等结构的优化配置

发布时间:2024-11-04 05:47人气:

  金融界2024年10月31日消息,国家知识产权局信息显示,力拓半导体股份有限公司申请一项名为“金属氧化物半导体控制二极管与其制造方法”的专利,公开号 CN 118841452 A,申请日期为2023年5月。

  专利摘要显示,一种金属氧化物半导体控制二极管(MCD)包括衬底、外延层、场氧化层、数个植入区、高介电常数栅氧化层以及金属层。外延层位于所述衬底上,场氧化层位于所述外延层上,且所雷火 雷火电竞 app述场氧化层具有数个场氧化层开口。植入区位于所述场氧化层开口内的所述外延层中。高介电常数雷火 雷火电竞 app栅氧化层位于所述场氧化层上并具有数个栅氧化层开口,露出部分植入区。金属层覆盖所述高介电常数栅氧化层与所述栅氧化层开口,以直接接触部分植入区。金属硅化物层位于每个植入区与金属层之间。

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